集微网报道 2024年4月已近在咫尺，届时ASML将迎来创立四十周年——作为半导体行业的领先供应商，这家总部位于荷兰费尔德霍芬的公司，因长期为芯片制造商提供硬件、软件和服务，用以大规模生产集成电路（芯片）而闻名。

　　日前，ASML宣布2023全年净销售额达到276亿欧元，毛利率为51.3%，净利润为78亿欧元；同时，ASML预计2024年的净销售额将与2023年基本持平，预计2024年第一季度的净销售额约为50亿至55亿欧元，毛利率约为48%至49%。优异的业绩表现和市场影响力再一次和业界对ASML的期待画上等号，光刻巨头是如何在微观世界里行稳致远的？

　　无间合力“铁三角”，微观世界的“品控师”

　　当一艘船或一架飞机离开荷兰驶向世界各地的晶圆厂时，ASML的设备或许就在其中。此后关于芯片制造的上千道工序中，ASML在核心环节推动“铁三角”（即光刻机台、计算光刻、光学和电子束量测）的紧密协作，并以全景光刻解决方案帮助芯片制造商生产更小、更强大、更智能的芯片。

　　ASML光刻技术的精妙享誉业内。ASML光刻机将芯片制造所需的电路图案投射到晶圆上，而光刻扮演着定义工艺窗口的角色。笔者听到的更为具象的形容是：“在中国，每台ASML光刻机一年所曝光的晶圆片数量平均接近200万片，将其相连的长度相当于5条黄浦江，叠加起来则相当于3座东方明珠塔。”

　　为避免芯片制造过程中的偏差，ASML电子束量测必须“挺身而出”，其以高分辨率大视场优势，更加精准地扫描晶圆收集数据并反馈给光刻机台，高质量完成量测和检验。

　　如果说光刻机台、光学和电子束量测是实力担当，那么“铁三角”中的隐形担当则首推计算光刻软件。其通过其数学物理模型，精确仿真光刻中真实的物理化学过程，在复杂条件中探索出最佳的光刻解决方案，指导后续光刻行为。ASML工作人员曾提出一个具体案例——某客户采用ASML计算光刻产品，优化自由形式的成像光源及与之匹配的掩模版图，针对关键图形和易缺陷图形作成像增强，使得工艺窗口增大30%以上！

　　数十年以来，集成电路制造工艺迅猛发展，微观世界不断迎来科技革命，推动芯片微缩、提高良率和产能已成为ASML技术变革的孜孜追求，“铁三角”全景光刻解决方案在此进程中提供着重要支撑——以“晶圆成像专家”光刻机为主要抓手；辅以计算光刻及量测两大技术，深度介入制造环节，并以“品控师”身份精密守住质量关，三者无间合力打造产业向前的牢固基石！